奈米級精度，量測絕對距離的白光干涉儀
新型的 IMS5400-DS 白光干涉儀為距離量測開辟了新的前景。此控制器具有智能評估功能，可在相對較大的補償距離內實現奈米級精度的絕對測量。與其他絕對測量光學系統相比，IMS5400-DS 在精度、測量範圍和補償距離方面都具有無與倫比的優勢。
奈米級解析度的絕對距離測量
IMS5400-DS 用於高精度位移和距離測量。與傳統的干涉儀不同，IMS5400-DS 還能穩定地測量台階輪廓。由於採用了絕對測量方法，步階掃描訊號的穩定性和精度都很高。因此，在測量移動物體時，可以可靠地檢測到凸起、台階與凹陷的高度差異。
多峰值距離測量
對透明物體進行多峰距離測量時，最多可同時評估 14 個距離值。例如，可以確定玻璃和載板之間的距離。此外，控制器還可以根據距離值計算出玻璃的厚度。
小光點，用於最小細節與結構
感測器在整個測量範圍內產生一個小光點。光點直徑僅為 10 微米，可檢測半導體和微型電子元件上的小細節結構。
測量多層且多樣化的表面
干涉測量法可對多層多樣化的表面進行測量。可以對亮面金屬、塑膠和玻璃進行高精度距離測量。
多種型號可滿足高要求的測量任務
| 型號 | 量測範圍 / 起始量測範圍 |
線性度 | 可測厚度層數 |
應用領域 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS19 | 2.1 mm / 大約 19 mm | ±50 nm | - | 工業距離測量，如精密製造領域 |
| IMS5400-DS19/VAC | 在無塵室和真空環境中執行精確定位任務和距離測量，例如在面板顯示器製造中進行mask定位 | |||
| IMS5400MP-DS19 | 距離量測: 2.1 mm / 大約 19 mm 厚度量測: 0.01 ... 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / 大約 19 mm |
±50 nm for 第一段距離 ±150 nm for 每下一個距離 |
最多 13 層 | 工業距離和厚度測量，例如平板玻璃生產中的距離和厚度測量 |
| IMS5400MP-DS19/VAC | 在無塵室和真空環境中進行精確的距離和厚度測量，例如在面板顯示器生產中進行距離和間隙測量 |
可與機器和系統整合的現代接口
控制器提供Ethernet、EtherCAT 和 RS422 等整合接口，以及額外的encoder連接、類比輸出、同步輸入和數位輸入/輸出。當使用 Micro-Epsilon 的接口模組時，還可以使用 PROFINET 和 EthernetIP。這樣就可以將干涉儀整合到所有控制的系統和生產程序中。
